- 名稱：Rishige RSG6000單頻射頻電源
- 型號：RSG6000
- 品牌：Rishige
- 描述：全固態(tài)射頻源系列產品廣泛應用于大學實驗室，醫(yī)療設備、工業(yè)材料加工設備（如射頻濺射、刻蝕、平行板、射頻...
服務熱線：0755-86185757
Rishige RSG6000單頻射頻電源
全固態(tài)射頻源系列產品廣泛應用于大學實驗室，醫(yī)療設備、工業(yè)材料加工設備（如射頻濺射、刻蝕、平行板、射頻激光、ICP、RIE、CVD和PVD)，同時也應用在感應和介質加熱的工業(yè)領域。用戶可根據不同功率（50瓦，100瓦，200瓦，500瓦，1KW，2KW，3.5KW，6KW，10KW，12.5KW）、不同射頻頻率（13.56MHz /27.12MHz /40.68MHz / 60MHz/ 81.36MHz/ 100MHz) 及脈沖頻率（0～100KHz）選用相應的機型。我們也歡迎用戶根據自己的特殊需要來洽談，為其系統(tǒng)訂做專用頻率和功率的全固態(tài)射頻電源。
Rishige RSG6000單頻射頻電源特點
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輸出功率：
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額定功率1 ~ 100% ，連續(xù)可調，正反向功率面板LED顯示
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功率穩(wěn)定度：
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≤ ±0.5％(額定功率輸出時)
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頻率穩(wěn)定度：
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≤ ±0.005%
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功率響應時間：
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額定輸出啟動 ＜ 10ms
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頻率信號：
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標準正弦波，進口石英晶振激勵
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信號頻率：
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13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/81.36MHz/100MHz（或其它工業(yè)頻率）
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信號輸出形式：
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連續(xù)波；矩形方波（由加脈沖調制器調制成方波，脈沖寬度10微秒到連續(xù)波，占空比可用戶定義，方波上升沿和下降沿不大于3微秒）
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輸出阻抗：
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50Ω
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承受駐波比：
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VSWR ≤ 1.5
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諧波輸出：
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二次諧波低于 -50dB，三次及更高次諧波低于 -55dB
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供電電壓：
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AC380V±15％三相供電，50/60Hz; 直流供電為外置獨立模塊
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整機效率:
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≥ 60％（6000W輸出時）
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冷卻方式：
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水冷（外接2千克力水壓）
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環(huán)境溫度：
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0 ~ 40℃
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相對濕度：
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< 85%
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控制接口：
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模擬接口，或采用RS485、RS232 通訊協(xié)議
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輸出接口：
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標準同軸接頭輸出，陰性
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長壽命:
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核心部件進口晶體管，每天24小時連續(xù)工作可使用30年。
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操控模式
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產品采用面板手動操控方式和計算機模擬及通訊操控方式，液晶面板顯示各項數值，既適合大學實驗室、科研院所研發(fā)使用，也適合自動化生產線閉環(huán)控制使用。
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射頻電源保護
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1.過熱保護 2.駐波保護 3.過壓保護 4.過流保護
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產品尺寸圖
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射頻功放部分：648*580*957（W H L）
直流電源部分：256*348*590（W H L）
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Rishige RSG6000單頻射頻電源選型
可提供如下射頻頻率產品：
13.56MHz
27.12MHz
40.68MHz
81.36MHz
100MHz（或其它工業(yè)頻率）
